離子注入技術(shù)是指在半導(dǎo)體晶圓表面摻雜硼、磷和砷等離子，從而改變其電氣特性和器件電導(dǎo)率，或使用非摻雜元素如鍺、碳，達(dá)到修改晶圓材料表面性質(zhì)的目標(biāo)。離子源是離子注入機(jī)中最核心的部件，主要由各種鎢、鉬部件組成。離子注入行業(yè)對(duì)于雜質(zhì)元素的要求是非常嚴(yán)苛的，任何雜質(zhì)元素的超標(biāo)都有可能導(dǎo)致離子注入材料的污染和失效，因此離子注入用鎢材或鉬材必須首先滿足其對(duì)化學(xué)純度的嚴(yán)格要求。另外，密度也是一項(xiàng)重要的性能參考指標(biāo)，這是因?yàn)殡x子源中的鎢材或鉬材零部件，在使用過(guò)程中大多會(huì)受到電子的轟擊或侵蝕。密度偏低會(huì)嚴(yán)重影響零部件的使用壽命。好的品質(zhì)源于取材，歐泰稀材是國(guó)內(nèi)較早實(shí)現(xiàn)工業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)的半導(dǎo)體靶材級(jí)（純度超5N）高純鎢鉬粉末原料制造商，對(duì)于離子注入用鎢鉬部件，推薦客戶使用4N或5N級(jí)高純?cè)希?jīng)粉末冶金、鍛軋、精密機(jī)加工等工序制造而成。